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主要阐述采用金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线。首先介绍了金属催化化学腐蚀法的基本原理和条件，然后探讨了催化金属的种类、腐蚀时间、腐蚀液浓度、硅衬底的晶向、掺杂浓度等各种因素对金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线的影响。
金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线
【摘 要】
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主要阐述采用金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线。首先介绍了金属催化化学腐蚀法的基本原理和条件，然后探讨了催化金属的种类、腐蚀时间、腐蚀液浓度、硅衬底的晶向、掺杂浓度等
【机 构】
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华南理工大学材料科学与工程学院,华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2013年23期
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