位移测量光栅干涉仪综述（英文）

来源 :Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering | 被引量 : 0次 | 上传用户：kugsa74

【摘要】

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【作者】

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Peng-cheng HU Di CHANG Jiu-b

【出处】

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Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

：

光栅干涉仪光学编码器位移测量精密测量

【基金项目】

：

Project supported by the National Natural Science Foundation of China(Nos.51605120,51675138,and 61675058);the National Science and Technology Major Project,China(No.2017ZX02101006-005)

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