【摘 要】
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介绍了离轴椭球反射镜的加工与检测,并采用AutoCAD软件计算了反射镜的最大非球面度。加工后的离轴椭球反射镜倾斜度误差达1.55arcsec,粗糙度均方根(RMS)达3.21nm,焦距误差小
【机 构】
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河南工业职业技术学院机械工程系,空军航空大学,
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介绍了离轴椭球反射镜的加工与检测,并采用AutoCAD软件计算了反射镜的最大非球面度。加工后的离轴椭球反射镜倾斜度误差达1.55arcsec,粗糙度均方根(RMS)达3.21nm,焦距误差小于1mm,表面精度可以达到λ/6(λ:0.51~0.98μm)。
The processing and testing of the off-axis ellipsoidal reflector are introduced. The maximum asphericity of the reflector is calculated by AutoCAD software. The off-axis ellipsoidal mirror has a tilt error of 1.55 arcsec, a root mean square (RMS) of roughness of 3.21 nm, a focal error of less than 1 mm and a surface accuracy of λ / 6 (λ: 0.51 to 0.98 μm).
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