石墨烯的SiC外延生长及应用(续)

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3.3 X射线光电子能谱XPS能谱分析的基本原理:一定能量的X光照射到样品表面和待测物质发生作用,可以使待测物质原子中的电子脱离原子成为自由电子。通过接收并测量这些光电子的能量,得到原子或分子内部各轨道的结合能,从而就可以了解样品中元素的组成。图8所示为样品的XPS能谱图,图中各峰值 3.3 X-ray photoelectron spectroscopy XPS EDS analysis of the basic principles: a certain amount of energy X-ray irradiation on the surface of the sample and the substance under test can make the test substance atoms in the electron from the atom to become free electrons. By receiving and measuring the energy of these photoelectrons, you get the binding energy of the orbitals inside the atoms or molecules so that you know the composition of the elements in the sample. Figure 8 shows the XPS spectrum of the sample, the peak in the figure
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