【摘 要】
：
为了得到微米级的微型结构，先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微孔结构，并以此和光刻成型的微结构作为模具，进行了微电铸试验，通过对电镀参数方法进行调整和优化
【基金项目】
：
国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA421190)
论文部分内容阅读
为了得到微米级的微型结构，先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微孔结构，并以此和光刻成型的微结构作为模具，进行了微电铸试验，通过对电镀参数方法进行调整和优化，改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点，得到了线宽为10μm级的微型结构。为进一步的微结构加工奠定了基础。
其他文献
<正>一、在自然单元的基础上确定单元主题从横向看,同一年级同一单元的主题或相同或有着内在差异和联系,有的单元文本主题一致,而有的单元文本主题差异较大。因此,我们在设计
<正>10月23日下午,党的十九大新闻中心举行第六场记者招待会,环境保护部党组书记、部长李干杰同志,中央财经领导小组办公室副主任杨伟民同志介绍了践行绿色发展理念,建设美丽
1.番茄秧苗徒长是什么原因，应如何防止? ①主要症状 根稀少；茎细弱，节间长；叶片稀少，叶薄，色淡黄；组织柔嫩。 ②形成原因 苗床内温度过高，特别是夜温过高，秧苗的呼吸作用增强，
A3作为一种新型航空摄影系统,在数据采集中具备高效率、高分辨率、高精度的特点,同时还能采集真正射和倾斜影像数据,在城市三维建模中具有独特的技术优势。基于A3航摄数据制
不管是传媒,还是生活中,都会经常见到各式各样的庆典,而几乎所有庆典都要请一些上级部门的领导光临。于是,庆典因领导而争脸,领导又因庆典而出名。久而久之,这请领导参加庆典
<正>华能集团把学习贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想,作为当前和今后一段时期的重大政治任务,牢固树立政治意识、大局意识、核心意识、看齐意识,着重做到"八个坚定不移
地处祖国东北边疆的吉林省延边朝鲜族自治州(简称延边)无山不绿,有水皆清,资源丰富,目前已知的植物种类达1 500余种,动物种类达550余种,矿物种类达90余种.弛名全国的人参、鹿
研究了一种新型的稠油选择性堵水剂，并在吉林油区进行了现场应用。应用结果表明，该堵剂的选择性好，适用范围广。为无法区分出水层的油井进行选择性堵水提供了一种有效的技术手段
目的探讨RGD-Gd@BSA-Ce6纳米探针对A549肺癌细胞的磁共振/荧光显像效果和光动力治疗作用。方法构建靶向和非靶向纳米探针RGD-Gd@BSA-Ce6和Gd@BSA-Ce6。采用体外磁场发生仪和3
为了探究新型栽培方式下甜椒苗期N2O的排放量和排放昼夜变化规律,明确新型栽培方式下最佳的蔬菜减排栽培模式,通过静态箱-气相色谱法分别对土垄栽培、土垄内嵌式基质栽培(SSC