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近２０年来表面分析技术已经渗透到了各个工业部门，由于现代表面分析技术在解决当前工业生产中的实际间题和关键工艺的质量控制中发挥了巨大的作用，所以引起了工业各部门工程技术人员的普遍重视和关注．本文主要讨论了几种主要的现代表面分析技术在电子、冶金、材料、机械和化学等工业生产中的一些应用领域及其典型的应用实例．