【摘 要】
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对柔性压力传感器进行了设计和研究,总体结构为三明治结构.由于介质层的结构比较特殊,选择了复眼微结构的设计方式,电极层则需要在改性后的聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面溅射一层金属银.将制备的三层结构通过键合的方式组成响应速度和灵敏度均较高的传感器.通过对传感器进行的测试实验可得:当传感器表面压力一定时,复眼结构的电容式压力传感器的灵敏度具备显著的优势,达到了0.27 kPa-1,且响应时间仅有26 ms.经过1600次的撞击实验,制造的传感器仍然能保持稳定的输出.制备的传感器具有较强的响应特性、良好的恢复性和
【机 构】
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新乡职业技术学院智能制造学院,河南新乡453002;江西工程学院智能制造与能源工程学院,江西新余338000
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对柔性压力传感器进行了设计和研究,总体结构为三明治结构.由于介质层的结构比较特殊,选择了复眼微结构的设计方式,电极层则需要在改性后的聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面溅射一层金属银.将制备的三层结构通过键合的方式组成响应速度和灵敏度均较高的传感器.通过对传感器进行的测试实验可得:当传感器表面压力一定时,复眼结构的电容式压力传感器的灵敏度具备显著的优势,达到了0.27 kPa-1,且响应时间仅有26 ms.经过1600次的撞击实验,制造的传感器仍然能保持稳定的输出.制备的传感器具有较强的响应特性、良好的恢复性和稳定性,能够适应柔性可穿戴电子器件的应用需求.
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