【摘 要】
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目前,放电等离子体方法已经广泛地应用于微细加工技术中。近年来,在许多高要求的等离子体工艺中逐渐采用诊断等离子体参量来控制整个工艺过程。本文将简要介绍用微波干涉法
【机 构】
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清华大学无线电系,清华大学无线电系,清华大学无线电系
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目前,放电等离子体方法已经广泛地应用于微细加工技术中。近年来,在许多高要求的等离子体工艺中逐渐采用诊断等离子体参量来控制整个工艺过程。本文将简要介绍用微波干涉法诊断放电等离子体密度的实验研究结果,并给出了相应条件下探针诊断的结果。
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