【摘 要】
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碳纳米管阴极电离真空计在超高/极高真空测量中具有广阔应用前景，基于碳纳米管阴极研制了测量范围10-9~10-4Pa的电离真空计，真空规管包括了碳纳米管阴极、门极、阳极、反射极和
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
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碳纳米管阴极电离真空计在超高/极高真空测量中具有广阔应用前景，基于碳纳米管阴极研制了测量范围10-9~10-4Pa的电离真空计，真空规管包括了碳纳米管阴极、门极、阳极、反射极和收集极，电路控制系统由高压电源、微弱离子流测量和控制电路组成。实验研究结果表明，不锈钢衬底上直接生长制备的碳纳米管阴极性能良好，开启场强和阈值场强分别为1.9V/μm和3.9V/μm，当阳极电流为42μA时，碳纳米管阴极电离真空计本底干扰可降低到1.81×10-9Pa。
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