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介绍了在相变材料上的曝光工艺研究，得出了相应的工艺条件，研究了邻近效应的影响以及利用邻近效应制作nm量级间隔大电极对的方法。
相变存储器曝光工艺研究
【摘 要】
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介绍了在相变材料上的曝光工艺研究，得出了相应的工艺条件，研究了邻近效应的影响以及利用邻近效应制作nm量级间隔大电极对的方法。
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年6期
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