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采用表面微机械技术制作了一种1310nm基于InP／空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry—Perot光滤波器。该滤波器的通光孔直径约为70μm，在1．4V的调谐电压下，调谐范围达到15nm。并采用光学传输矩阵方法，分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响。
基于InP／空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器
【摘 要】
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采用表面微机械技术制作了一种1310nm基于InP／空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry—Perot光滤波器。该滤波器的通光孔直径约为70μm，在1．4V的调谐电压下，调谐范围达到15n
【机 构】
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华南理工大学物理科学与技术学院,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2006年5期
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