【摘 要】
：
给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的SiNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中
【机 构】
：
中国科学技术大学,中国科学院微电子研究所
论文部分内容阅读
给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的SiNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bit CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.
其他文献
<正> 电极式盐浴炉是热处理车间常用炉型之一,在使用过程中,由于设备本身制作不合理或失修、操作不当等原因有可能发生人身和设备事故,给生产造成一定的损失。因此操作电极式
在当前的幼儿园教育当中,音乐教育是其中的一个重要组成部分。良好的音乐教育能使幼儿积聚灵感,催发情感,激活想象,对于幼儿的成长具有举足轻重的作用。为了能够促进幼儿的发
使用TIBET -31N 无源地震台阵以及以前临时地震台阵记录到的远震体波数据进行了有限频层析成像反演,对青藏高原南部及中部的三维速度结构成像.在喜马拉雅和拉萨地块下方存在
Michael: Teacher, is there life after death? Teacher: Why do you ask this question? Michael: I may need the extra time to finish all the homework you gave us.
《幼儿园教育指导纲要》明确指出:“幼儿园必须把保护幼儿的生命和促进幼儿的健康放在工作的首位。”如何把简单的安全防护知识教给幼儿,增强幼儿的安全防护意识,可以采取如
教学过程:一、导入1.师:今天,我们习作的主题是《难忘的一件事》。2.师:什么是难忘的事?生1:印象深刻的事。生2:永远印在脑海里的,值得记忆的。生3:难以忘记,不能忘却。3.师
<正> 造型看砂子,开炉看渣子。这是铸造生产过程中的一句名言。酸性冲天炉正常炉况下的炉渣应为黄绿色玻璃状。如果炉渣发黑且致密,称为黑渣,当黑渣呈多孔海棉状且体积剧增,
本文在分析高职院校会计电算化专业课程设置现状的基础上,提出应按照会计工作岗位群要求和会计职业资格证书所需的知识和能力设置课程体系,并把会计技能竞赛项目纳入到专业课
教育教学常规既是对教师的专业职能的必要标准,又是我们每天都在付诸于行动的内容,作为一名基层学校的一线教师,笔者深知教学常规工作的复杂与艰辛,作为一名基层教育工作者,
whether与if在高中英语新教材中频频出现，但同学们对其异同却不甚了解，笔者对此分析归纳如下，供同学们学习参考。