【摘 要】
：
薄膜的表面粗糙度直接影响薄膜的最终性能.本文构建了薄膜的三维生长动力学模型,并采用蒙特卡罗方法实现了薄膜生长的数值模拟,得到了沉积速率、基底温度和原子覆盖度等因素
【机 构】
：
中央民族大学理学院,北京,100081
论文部分内容阅读
薄膜的表面粗糙度直接影响薄膜的最终性能.本文构建了薄膜的三维生长动力学模型,并采用蒙特卡罗方法实现了薄膜生长的数值模拟,得到了沉积速率、基底温度和原子覆盖度等因素对薄膜表面粗糙度的影响.模拟结果表明:随着沉积速率的增大、基底温度的降低和覆盖度的增大,薄膜的表面粗糙度增大;并且在沉积速率较小时,薄膜的表面粗糙度随沉积速率增加迅速,而沉积速率较大时,薄膜的表面粗糙度随沉积速率增加缓慢.
其他文献
目的观察(足母)外翻足与正常足的内侧足纵弓,探讨(足母)外翻足内侧足纵弓的病理变化、病理机制及临床意义.方法(足母)外翻患者24例34足,男6例8足,女18例26足;年龄11～83岁,平均
硫氧化是硫元素生物地球化学循环的重要组成部分,而硫氧化细菌(sulfur-oxidizing bacteria,SOB)是单质硫或还原态硫化合物生物氧化的驱动者.工农业生产和生活可产生并向环境
荞麦是一种国际公认的具有独特营养价值和医疗保健功能的药食兼用作物,荞麦的加工及开发利用是国内外的研究热点.本文利用科学引文索引(SCI&SCI-E)和Innography为数据源,采用
与以往文献报道合成乙酰苯胺方法不同的是:只采用苯胺和冰醋酸为原料,不需要添加任何溶剂或催化剂,在反应釜中加热反应得到乙酰苯胺.实验结果表明:当原料苯胺和冰醋酸的用量
为更加高效地求解含有精细结构的波动问题,提出了一种基于加权Laguerre多项式求解波动方程的新方法.在求解过程中,将波动方程的各项基于Laguerre正交基函数进行展开,利用伽辽
南京航空航天大学振动工程研究所在近年来研制的高性能振动测试分析系统DTAS的基础上,应有关单位要求研制了与引进设备LDS15吨振动台配套的随机振动控制系统DTASRVC,代替原
微通道粒子分离技术通过设计特殊的微通道结构对布朗粒子构成特定的熵势阱,同时施加一定的外力影响,从而实现粒子分离.本文研究了恒定外力和熵势的共同作用下,锯齿型微通道结
目的:制备具有不同微观结构的复合成骨支架材料,并对其性能进行评价.方法:本研究在壳聚糖明胶有机溶剂系统瞬时相位分离过程中,调整作用参数,包括明胶壳聚糖比、壳聚糖与明胶
目的:探讨大型舰船航行中遇自身突发事件如何开展医学救援,以获得平战时的最佳救治效果。方法:采集大型舰船海上航行30余次综合医护救援演练资料,分类对比演练时的伤情及急救
从作物的光合生理、根系生长、作物形态、产量形成等方面阐述了干旱胁迫抑制作物生长发育的原因,简析了作物的抗旱现状及提高抗旱性的途径,提出了作物在干旱胁迫影响下存在的