大行程纳米级步距压电马达驱动电源的研究

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针对基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电电动机的运动特点,研制了一种压电陶瓷微位移驱动器驱动电源。对压电陶瓷进行动态驱动实验表明,在输入三角波、方波、正弦波等动态信号时,该驱动电源可很好地跟随输入波形的变化,实现了输入电压为0-5 V时,输出电压在0-280 V内连续可调,具有40 mV的高分辨率和较为理想的静特性。同时对压电陶瓷的驱动实验还表明:压电陶瓷在0-280 V的电压范围内,微位移变化是线性的。
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