【摘 要】
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研究了标准三维实体文件和版图文件的格式,在此基础上提出了一种在MEMS CAD中从三维实体到工艺版图的转换方法,实现了直接基于文件到文件的三维实体到工艺版图的转换,使用C＋＋语
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(50375125);国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z306);高等学校博士学科点专项基金资助项目(2003069903,20040699009).
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研究了标准三维实体文件和版图文件的格式,在此基础上提出了一种在MEMS CAD中从三维实体到工艺版图的转换方法,实现了直接基于文件到文件的三维实体到工艺版图的转换,使用C＋＋语言开发了相应的转换接口。通过典型MEMS器件---微机械加速度计和微机械陀螺的多种结构,验证了三维实体到二维版图转换的可行性与效率。结果表明,这种转换方法切实可行,且效率较高,为实现MEMS自顶向下与基于任意流程的设计方法、简化版图绘制、提高设计效率提供了一种有效的途径。
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