【摘 要】
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扭转微镜中的静电和机械两个物理场是非线性耦合的,因此系统的数学模型及动态特性分析就变得很复杂.首先建立了扭转微镜的非线性动力学模型,然后采用直接积分法求解了系统的
【机 构】
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西安交通大学振动与噪声控制工程研究所
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扭转微镜中的静电和机械两个物理场是非线性耦合的,因此系统的数学模型及动态特性分析就变得很复杂.首先建立了扭转微镜的非线性动力学模型,然后采用直接积分法求解了系统的阶跃响应,通过数值模拟发现系统的固有频率随施加电压增大而减小、振动平衡位置随电压增大发生偏移等现象.对这些非线性现象进行了分析,有助于微镜系统设计和扩展微镜系统的应用范围.
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