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生物定量检测中，生物样品是否均匀混合的研究意义重要。石英晶体微质量天平（QCM）因其振幅谐振机理，而具备优异的超声混合性能。本文结合微电子机械系统（MEMS）工艺，利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法，制备了尺寸可控、表面平整、结合紧密的SU-8芯片主体结构，利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）封装获得完整的液相混合微芯片，最后利用罗丹明B荧光染料和SiO2纳米球对芯片的混合性能进行了表征。同时，本文提供了一种小体积、便捷、通用性好的液相混。合微芯片的制备方法。