【摘 要】
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采用动态蒙特卡罗（KMC）方法模拟电子束物理气相沉积（EB-PVD）制备Ni-Cr合金薄膜过程中沉积速率与薄膜微观结构之间的关系，并用分维理论研究薄膜表面形貌。研究结果表明：对于基板温度
【机 构】
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大连海事大学机电与材料工程学院,哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,成都飞机设计研究所
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采用动态蒙特卡罗（KMC）方法模拟电子束物理气相沉积（EB-PVD）制备Ni-Cr合金薄膜过程中沉积速率与薄膜微观结构之间的关系，并用分维理论研究薄膜表面形貌。研究结果表明：对于基板温度为500K，入射角度为35°的情况，沉积速率〈5μm／min时，薄膜表面分维均〈2．04，表面光滑，而当沉积速率〉5μm／min时薄膜分维随沉积速率增大而增大，表面变得越来越粗糙，直到沉积速率升高到1000μm／min时，分维达到最大值2．31，表面非常粗糙，具有细致的皱褶和缺陷。分维与沉积速率间的关系说明低沉积
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