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本文以化学机械抛光为手段,以原子力显微镜(AFM)为工具,对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光进行研究.既观察到了由传统光学表面向超光滑表面过渡的过程,又观察到了超光滑表面加工的结果-表面的本征化.显示了超光滑表面抛光对外延衬底表面的重要性.
高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究
【摘 要】
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本文以化学机械抛光为手段,以原子力显微镜(AFM)为工具,对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光进行研究.既观察到了由传统光学表面向超光滑表面过渡的过程,又观
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2002年2期
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