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极端精确的用机器制造是一条有效途径完成尺寸精确性和表面完成的高度要求了在光并且激光部件。用一台二轴的钻石拐弯处机器的广泛的研究被进行用机器制造使用激光二极管横梁塑造的反射镜数组。精确放细工品，理论分析被做以便维的精确性能被完成。进用机器制造辘辘声减小的调查被执行。与开发的过程，有光表面的反射镜在 Ra 和不到 0.5 渭 m 的最小化的辘辘声尺寸 8 完成 nm 被完成了。CLC 数字 TN249 Antrag GZ 398， Ghinesisch-Deutsches Zentrum f 眉 r Wiss