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期刊论文
离子注入HgCdTe损伤特性研究
离子注入HgCdTe损伤特性研究
来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:f54265932
【摘 要】
:
本文利用电解液电反射方法研究了离子注入HgCdTe的损伤特性,得出了材料的E1能量值,同时探讨了热退火下离子注入引起的损伤变化关系。
【作 者】
:
刘心田
钟桂英
【机 构】
:
中科院上海技物所,中科院上海技物所上海200083,上海200083,上海200083
【出 处】
:
激光与红外
【发表日期】
:
1993年6期
【关键词】
:
HGCDTE
离子注入
损伤
半导体材料
HgCdTe
ion implantition
【基金项目】
:
中科院上海冶金所离子束开放实验室资助
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本文利用电解液电反射方法研究了离子注入HgCdTe的损伤特性,得出了材料的E1能量值,同时探讨了热退火下离子注入引起的损伤变化关系。
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