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期刊论文
采用空间光调制器的光变图像光刻系统
采用空间光调制器的光变图像光刻系统
来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong494
【摘 要】
:
用激光干涉型光学头产生干涉条纹,采用空间光调制器(SLM)进行子图输入实现光学可变图像(DVD)的快速光刻,分辨率可达5 080 dpi,平均运行效率达8 000 dots/s(1 270 pdpi)以上.
【作 者】
:
陈林森
解剑锋
沈雁
汪振华
邵洁
陆志伟
【机 构】
:
苏州大学信息光学工程研究所
【出 处】
:
光电子.激光
【发表日期】
:
2004年5期
【关键词】
:
3D图像
干涉
光学头
空间光调制器
SLM
光变图像光刻系统
激光光刻系统
Laser applicationsLight interferenceLight
【基金项目】
:
教育部跨世纪优秀人才培养计划
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用激光干涉型光学头产生干涉条纹,采用空间光调制器(SLM)进行子图输入实现光学可变图像(DVD)的快速光刻,分辨率可达5 080 dpi,平均运行效率达8 000 dots/s(1 270 pdpi)以上.研制了大幅面激光光刻系统,给出了实验结果.
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