【摘 要】
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为从源头上消除硅微陀螺的正交误差，采用静电修调方法，研究正交校正结构设计问题．在分析静电修调原理的基础上，探讨校正电极设计原则以及结构形式的选取，设计布局方案消除干扰静电
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程学院,东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
【基金项目】
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中央高校基本科研业务费专项资金资助项目（3222003102）.
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为从源头上消除硅微陀螺的正交误差，采用静电修调方法，研究正交校正结构设计问题．在分析静电修调原理的基础上，探讨校正电极设计原则以及结构形式的选取，设计布局方案消除干扰静电力，并通过参数优化提高校正结构的面积利用效率．为自主研制的某型双质量硅微陀螺设计正交校正结构，使其理论上具备以12 V 直流电压校正405（°）/s 正交误差的能力．加工试验表明，对具有354（°）/s 正交误差的表头，施加11．6 V 直流电压可实现正交校正，结构的正交校正能力略小于但接近设计值．研究的正交校正结构设
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