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Material removal mechanism of copper chemical mechanical polishing with different particle sizes bas
Material removal mechanism of copper chemical mechanical polishing with different particle sizes bas
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:moneymoneyoh
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
Aibin ZHU
Dayong HE
Shengli HE
【机 构】
:
Key Laboratory of Education Ministry for Modern Design and Rotor-Bearing System, Xi’an Jiaotong Univ
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2017年1期
【关键词】
:
chemical mechanical polishing
material removal mechanism
particle size
quasi-con
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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