【摘 要】
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最近几年我们主要对P型同轴探测器硼离子注入技术及最终表面处理方法进行了研究。实验发现,注入的硼离子能量为30keV、剂量为1×10~(14)/cm~3时可得到能耐很高工作偏压的P~+
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最近几年我们主要对P型同轴探测器硼离子注入技术及最终表面处理方法进行了研究。实验发现,注入的硼离子能量为30keV、剂量为1×10~(14)/cm~3时可得到能耐很高工作偏压的P~+电极。最终的表面处理用7:2:1=硝酸;氢氟酸:发烟硝酸腐蚀,用甲醇淬灭能得到较好的表面状态。此种表面状态能在4000伏以上的偏压下有小于2×10~(-11)A的反向漏电流,而且有较小的电噪音贡献。
In recent years, we have mainly studied the boron ion implantation technology and the final surface treatment method of the P-type coaxial detector. The experimental results show that the energy of boron ion implanted is 30keV and the P ~ + electrode with high working bias can be obtained when the dosage is 1 × 10 ~ (14) / cm ~ 3. The final surface treatment with 7: 2: 1 = nitric acid; hydrofluoric acid: fuming nitric acid corrosion, quenched with methanol to get a better surface condition. This surface state can have a reverse leakage current of less than 2 x 10 ~ (-11) A at voltages above 4,000 volts with a small contribution to electrical noise.
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