【摘 要】
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为满足返回式航天器再入过程中瞬态高温的测量需求,文章基于微机械电子系统（Micro-Electro Mechanical Systems,MEMS）技术设计了一款新型表面瞬态测温热电偶传感器;该型测温传
【基金项目】
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军委装备发展部“十三五”装备预研领域基金重点项目(6140923020301)
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为满足返回式航天器再入过程中瞬态高温的测量需求,文章基于微机械电子系统（Micro-Electro Mechanical Systems,MEMS）技术设计了一款新型表面瞬态测温热电偶传感器;该型测温传感器结构设计采用便于安装且与被测物表面易于接触的针型结构,并选用K型（NiCr-NiSi）热电偶材料作为传感器热电极,对传感器热电偶热结点及其引线设计、制作工艺进行研究,并采用磁控溅射技术实现了传感器测温端面热接点及其引线的制备;最后,采用自行设计的基于LXI总线的测温传感器性能测试系统对该型测温传感器进行
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