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为了提高MEMS（Micro-electro-mechanical Systems）微机电系统电容式传感器测量低电容的灵敏度，提出了一种MEMS电容式传感器调理电路，并采用绝缘硅片（SOI）MEMS电容式加速度传感器组成了完整的电容测量系统。该信号调理电路采用了一组片上电容阵列用以抵消电容结构的失配。并且采用可调的方形波发生器来调谐系统的灵敏性，以此弥补电子装置制成后产生的变化。电路采用0.18-mm CMOS技术设计并制成，测量结果显示，提出的测量系统能够准确测量到MEMS传感器的电容变化以及加速度，证