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氧化钇助剂
氧化钇助剂
来源 :稀土信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:onlywxx
【摘 要】
:
氮化铝陶瓷具有高的导热性和好的电绝缘性,而且其热膨胀系数在室温到200℃范围内与硅相当,因而可作为半导体器件的钝化层和介电层以及电子基体。它的导热性与其化学纯度和密
【作 者】
:
王明沁
【出 处】
:
稀土信息
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
氧化钇
氮化铝陶瓷
半导体器件
电绝缘性
硅相
热性
热膨胀系数
钝化层
烧结温度
还原气氛
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氮化铝陶瓷具有高的导热性和好的电绝缘性,而且其热膨胀系数在室温到200℃范围内与硅相当,因而可作为半导体器件的钝化层和介电层以及电子基体。它的导热性与其化学纯度和密度关系密切,日本Noritake有限公司的研究人员,采用氧化钇作为烧结
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