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研究了激光辐照功率密度为5×1011~2×1014瓦/厘米2、靶材原子序数为4~92时，使靶加热的激光辐射变成等离子体X射线的转换效率。并估计了把这种激光等离子体软X射线源应用于抗蚀剂X射线光刻术时所需的曝光剂量。
激光功率密度为5×1011~2×1014瓦/厘米2的激光等离子体软X射线源
【摘 要】
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研究了激光辐照功率密度为5×1011~2×1014瓦/厘米2、靶材原子序数为4~92时，使靶加热的激光辐射变成等离子体X射线的转换效率。并估计了把这种激光等离子体软X射线源应用于抗蚀剂X射线光刻术时所需的曝光剂量。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1984年21期
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