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用热丝CVD法，以丙酮和氢气为碳源，在SiC衬底上沉积金刚石薄膜，提出了分步变参数沉积法制备超细晶粒金刚石复合薄膜的新工艺。结果表明，合理控制工艺条件的新工艺，对金刚石薄膜质量、形貌和粗糙度、薄膜与衬底间的附着力以及薄膜的摩擦系数有显著影响，金刚石薄膜的平均晶粒尺寸从3μm减小到0.3μm，拉曼特征峰显示超细晶粒金刚石薄膜特征，涂层附着力好，超细晶粒金刚石薄膜的表面粗糙度和摩擦系数值显著下降，对获取实用化的S iC在基体上沉积高附着强度、低粗糙度金刚石薄膜的新技术具有重要的意义。