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研究了减小CIGS太阳能电池中Mo,CIGS,n-ZnO三层薄膜电阻率的溅射工艺方法,以达到减小电池串联电阻的目的。改变工艺参数制备不同样品并对其进行测试分析,得到了溅射气压、衬底温度、退火工艺对电阻率和薄膜微观形貌的影响。证明了采用双层溅射法制备的Mo、低气压、衬底加热、溅射后退火得到的CIGS以及3～5 Pa下制备的n-ZnO都有较好的薄膜质量和较低的电阻率。