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对过电应力引起的CMOS集成电路的开短路失效模式。从电路结构、导电通路、误操作等方面进行了失效原因探讨。列举了一些过电应力的来源，说明了电压或电流幅度很小也可导致过电应力烧毁．从而说明了根据失效模式来寻找过电应力来源的困难性。对失效分析、故障归零将有很好的参考价值。
集成电路开短路失效原因探讨
【摘 要】
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对过电应力引起的CMOS集成电路的开短路失效模式。从电路结构、导电通路、误操作等方面进行了失效原因探讨。列举了一些过电应力的来源，说明了电压或电流幅度很小也可导致过电
【机 构】
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北京微电子技术研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2012年6期
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