Phase control of magnetron sputtering deposited Gd2O3 thin films as high-κ gate dielectrics

来源 :Journal of Rare Earths | 被引量 : 0次 | 上传用户：cx8105

【摘要】

：

是的 Gd2O3 薄电影高 -- 门电介质被磁控管在 1.3 Pa 和不同温度的一个压力劈啪作响在 Si (001 ) 底层上直接扔。X 光检查衍射结果揭示了那从 450 ～ 570 慮挠牥浡捩洠瑡牥慩獬

【作者】

：

岳守晶魏峰王毅杨志民屠海令杜军

【机构】

：

AdvancedElectronicMaterialsInstitute

【出处】

：

Journal of Rare Earths

【发表日期】

：

2008年3期

【关键词】

：

Gd2O3薄膜电介质稀土磁电管 Gd2O3 thin film rare earth oxide high-κ gate dielectric ma

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是的 Gd2O3 薄电影高 -- 门电介质被磁控管在 1.3 Pa 和不同温度的一个压力劈啪作响在 Si (001 ) 底层上直接扔。X 光检查衍射结果揭示了那从 450 ～ 570 慮挠牥浡捩洠瑡牥慩獬 ? 潈 ? 牰獥楳杮眠獡甠敳 ? 潴映 'L 楲慣整愠畬業慮洠瑡楲? 潣灭獯瑩獥椠 ? 楮牴杯湥愠浴獯桰牥 ? 牰瑯 ' 虡 N 湯 ? 楍牣獯牴 ' 壮肭?种的所有电影湡 ? 敭档湡捩污瀠潲数瑲敩 ? 景琠敨挠浯潰楳整 ? 敷敲琠獥整 ??? 慷 ? 湩楤慣整 ? 桴瑡琠敨戠湥

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