【摘 要】
:
研究了超声雾化化学气相沉积(Mist-CVD)法外延生长α-Ga2O3薄膜过程中通入雾流速率的调控及其对薄膜生长质量的影响.利用COMSOL Multiphysics软件仿真得到在0.1~0.2 m/s的雾流速率下基板表面具有稳定的雾流和较小的温度变化.对比了通入雾流速率为0.118、0.177和0.251 m/s时所生长的α-Ga2O3薄膜的差异.X射线衍射(XRD)表明在上述3种速率下均成功外延生长出α-Ga2O3薄膜.薄膜生长速率在一定范围内随着雾流速率的增加而提高,但当雾流通入速率过高时,α-Ga
【机 构】
:
天津工业大学电气与电子工程学院,天津 300387;天津工业大学电气与电子工程学院,天津 300387;天津工业大学大功率半导体照明应用系统教育部工程研究中心,天津 300387
论文部分内容阅读
研究了超声雾化化学气相沉积(Mist-CVD)法外延生长α-Ga2O3薄膜过程中通入雾流速率的调控及其对薄膜生长质量的影响.利用COMSOL Multiphysics软件仿真得到在0.1~0.2 m/s的雾流速率下基板表面具有稳定的雾流和较小的温度变化.对比了通入雾流速率为0.118、0.177和0.251 m/s时所生长的α-Ga2O3薄膜的差异.X射线衍射(XRD)表明在上述3种速率下均成功外延生长出α-Ga2O3薄膜.薄膜生长速率在一定范围内随着雾流速率的增加而提高,但当雾流通入速率过高时,α-Ga2O3薄膜表面发生翘曲开裂,且其光学带隙变小.
其他文献
形式rn这里是一片清净山地.驶离国道进入上山路,再转过几处经幡,路过一些风车,便到了这个足以俯瞰整个大理城市风景的山上基地.落日余晖里可以看到远处披雪的山脉,近在眼前的城市在山脚下铺展开来,像是在浓郁无际的蓝绿色里放置了一块不小的混凝土模型,夕阳在其中投下一道金边.
针对甲基磺酸(MSA)体系电镀锡板表面的白斑缺陷,采用光学显微镜、扫描电镜和能谱仪对比了正常位置和缺陷位置基体的微观结构及镀层的表面形貌和元素组成,并在生产线上进行了故障再现试验.结果表明,白斑同时出现在样板两面的相同位置,并呈面对称.白斑产生的根本原因是软熔前钢板表面附着水滴,导致对应部位温度偏低而软熔失败.加强助熔槽和钝化槽盖子的密封性以及在软熔前设置挡水板后解决了问题.
形式rn察尔汗盐湖位于我国西部地区,是中国面积最大的盐湖,其湖面之下蕴藏着各类矿物质,是中国重要的矿物基地之一.原本作为工业基地的盐湖,近几年开始大力发展旅游项目,吸引游客前来参观,神秘的盐湖逐渐开始被大众所知.
对比了苯酚磺酸(PSA)体系和甲基磺酸(MSA)体系电镀锡液的抗氧化能力和环保性,以及两种体系所得镀锡板的锡层均匀性、黑灰程度和铁溶出值.结果表明,MSA体系镀液的化学需氧量、总有机碳量和锡泥产生率远远低于PSA体系镀液.与PSA体系镀锡板相比,MSA体系镀锡板的锡镀层更均匀、致密,黑灰程度和铁溶出值都更低.
某热浸镀锌立柱在冲孔后镀层出现起皱和脱落现象.采用扫描电镜和能谱仪分析立柱不同部位热浸镀锌层的组织结构,发现锌层中脆性ζ相过厚是主要原因,通过适当缩短浸镀时间和在浸镀液中添加0.1%(质量分数)的Al可解决上述问题.
近年来,玉米在中国粮食体系中的地位不断提升,尤其是在北方地区,玉米种植面积仅次于水稻和小麦,因此,玉米对于提升中国粮食总产量、提高农民收入具有重要意义.基于此,文章结合吉林省实际情况,对玉米栽培技术进行了研究,并对玉米病虫害防治要点进行了分析.
随着经济的发展和城镇化进程的加快,城镇的用水量明显增加,对生态环境也造成了不同程度的破坏.在这种情况下,节能理念和水资源的保护引起了人们的关注.本文从节能理念的角度出发,分析我国建筑给排水存在的问题,从而提出节能理念下的建筑给排水设计.
对平均粒径为15μm的铜粉进行置换化学镀银,得到球状银包铜粉导电填料.对不同温度下银负载量随置换反应时间的变化曲线进行拟合得到不同温度下的反应速率常数,进而通过Arrhenius方程算得置换反应的活化能为1.9×103 J/mol.表征了不同温度下制备的银包铜粉的微观形貌和晶体结构,以及将其作为填料时导电胶的性能.结果表明,所得银包铜粉为银白色,银层包覆完整,分散性良好.银包铜粉的质量分数为55%时,导电胶的抗氧化性和导电性良好;银包铜粉质量分数为55% ~65%时,导电胶的剪切强度满足电子工业的一般要求
“双碳”目标的达成离不开燃煤机组的碳排放控制,国家对燃煤机组实行碳排放配额制度,并首次发布了配额计算公式,对其碳排放实行控制.文章对配额计算公式各因子进行分析和假设计算,结果表明除经济性偏离设计值较大的亚临界600 MW机组外,其余电网现役主力燃煤机组的碳排放配额目前应暂时够用、压力相对较小,按“先立后破”原则,这应只是暂时过渡;2021年12月前,国家能源局将完成细化能源领域“双碳”目标的落实举措和配套政策,应会调整配额计算公式,后续配额应会趋严、逐步减少、压力渐增,要求机组尽快实施节能提效、升级转型;
采用旋转法对用于电沉积制备钨涂层的Na2WO4–WO3熔盐体系的高温黏度进行了研究,讨论了熔盐体系温度对沉积物的形貌与物相的影响.结果表明,在973~1223 K的温度范围内,随温度的升高,熔盐黏度呈明显下降的趋势.当温度低于1113 K时,无法在石墨表面获得钨涂层.该熔盐体系电沉积制备表面致密均匀的纯钨涂层的适宜温度为1173~1198 K.