三氟化硼气体中四氟化硅含量的测定

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采用硅钼蓝分光光度法快速测定三氟化硼气体中四氟化硅的含量,建立了测定的方法。优化实验条件,考察了最佳吸收波长为810 nm;通过加入草酸、饱和硼酸消除磷、砷和氟等离子的干扰;确定了盐酸、草酸、钼酸铵以及还原剂的用量;绘制810 nm处标准曲线,并得到摩尔吸光系数ε=1.85×104L/mol·cm。
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