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通过各向异性腐蚀硅杯实验,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系,不同腐蚀条件下硅杯的表面状况,并确定了制作硅杯的最佳工艺条件.通过测试硅杯结构多晶硅压力传感器的输出特性,证明了TMAH确实是一种性能优良的各向异性腐蚀剂.
四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用
【摘 要】
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通过各向异性腐蚀硅杯实验,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系,不同腐蚀条件下硅杯的表面状况,并确定了制作硅杯的最佳
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
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2001年6期
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