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介绍了电子束真空气相沉积（EBPVD）镀膜技术的优点、国内外发展现状,并对其关键技术:材料的高速电子束蒸发过程在真空和工艺参数控制下的物质的沉积、成分和组织结构的控制等方面进行了分析。简要论述了其硬件条件,以便为钢钛复合材料的制备提供解决思路。
电子束气相沉积的研究进展
【摘 要】
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介绍了电子束真空气相沉积（EBPVD）镀膜技术的优点、国内外发展现状,并对其关键技术:材料的高速电子束蒸发过程在真空和工艺参数控制下的物质的沉积、成分和组织结构的控制等方面进行了分析。简要论述了其硬件条件,以便为钢钛复合材料的制备提供解决思路。
【机 构】
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攀枝花学院钒钛学院
【出 处】
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钢铁钒钛
【发表日期】
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2020年04期
【基金项目】
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四川省科技厅项目（2018FZ0090）； 攀枝花市科技计划项目（2018CY-G-6）;攀枝花市科技计划项目（2017CY-G-12）；
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