【摘 要】
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单光子探测技术具有高灵敏度、低时间抖动、低功耗等独特优势，在激光测距和成像中的应用越来越广泛。本文介绍了一种低成本的高精度单光子测距技术，系统利用窄脉冲电路驱动激光二极管产生脉宽160ps的窄脉冲激光，利用多像素光子计数器研制了时间抖动为417ps的低时间抖动单光子探测器，降低了系统的整体时间抖动，并搭建了高精度单光子测距实验装置。测距实验结果表明，在2m的测距量程内，单光子测距系统的距离测量精度
【基金项目】
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国家自然科学基金（11804099,62075062,62175067）； 上海市教育发展基金会和上海市教育委员会“晨光计划”（21CGA31）； 华东师范大学幸福之花基金（2021ST2110）；
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单光子探测技术具有高灵敏度、低时间抖动、低功耗等独特优势，在激光测距和成像中的应用越来越广泛。本文介绍了一种低成本的高精度单光子测距技术，系统利用窄脉冲电路驱动激光二极管产生脉宽160ps的窄脉冲激光，利用多像素光子计数器研制了时间抖动为417ps的低时间抖动单光子探测器，降低了系统的整体时间抖动，并搭建了高精度单光子测距实验装置。测距实验结果表明，在2m的测距量程内，单光子测距系统的距离测量精度可达370μm@RMS。实验装置采用同轴光路设计，结构简单，易于集成，为实现小型化低功耗高精度单光子测距系统提供了一种可行性的解决方案。
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