【摘 要】
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准分子激光器以其高精度和低热效应广泛用于各种材料的加工中,现已成为半导体芯片、微电子器件以及医疗设备制造商十分青睐的加工设备.当加工聚合物和陶瓷工件时,准分子紫外
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准分子激光器以其高精度和低热效应广泛用于各种材料的加工中,现已成为半导体芯片、微电子器件以及医疗设备制造商十分青睐的加工设备.当加工聚合物和陶瓷工件时,准分子紫外波长(157nm,193nm,248nm,266nm和355nm)进入靶材料时有很高的吸收率并会产生非常好的烧蚀结果.另外,通过简单地改变光学系统或气体即可将单个准分子激光器调谐至几个紫外波长,使其成为多用途加工设备.
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