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机构,驱动,检测一体化的压电陶瓷直线驱动模块的研究
机构,驱动,检测一体化的压电陶瓷直线驱动模块的研究
来源 :哈尔滨工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nyy1001
【摘 要】
:
介绍了一种结构紧凑,具有纳米级位移分辨率,动态性能好的压电陶瓷直线驱动模块。
【作 者】
:
江溯
研究所
【机 构】
:
哈尔滨工业大学机器人研究所
【出 处】
:
哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
机构
检测一体化
压电陶瓷
直线驱动模块
机器人
Integration of mechanism
actuator and sensors
piezoel
【基金项目】
:
“八六三”计划
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介绍了一种结构紧凑,具有纳米级位移分辨率,动态性能好的压电陶瓷直线驱动模块。
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