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介绍了激光扫描散射检测超大规模集成电路（ＶＬＳＩ）芯片上缺陷的原理，描述了对芯片沾污杂质粒子与芯片电路图形缺陷的检测方法，并对它们的特点进行了比较。
超大规模集成电路芯片的激光缺陷检测技术
【摘 要】
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介绍了激光扫描散射检测超大规模集成电路（ＶＬＳＩ）芯片上缺陷的原理，描述了对芯片沾污杂质粒子与芯片电路图形缺陷的检测方法，并对它们的特点进行了比较。
【机 构】
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河北大学电子与信息工程系,北京广播电视大学
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1998年06期
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