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根据大面积微波CVD反应腔的简单模型,采用FIT算法计算了腔内的电磁场,并用计算机模拟了反应腔中电磁场的分布,寻找影响腔内电磁场分布的参数,试图为大面积金刚石膜微波反应腔的设计提供一定的依据.
大面积微波CVD反应腔中电磁场分布的研究
【摘 要】
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根据大面积微波CVD反应腔的简单模型,采用FIT算法计算了腔内的电磁场,并用计算机模拟了反应腔中电磁场的分布,寻找影响腔内电磁场分布的参数,试图为大面积金刚石膜微波反应腔
【机 构】
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咸宁学院物理系
【出 处】
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黄冈师范学院学报
【发表日期】
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2002年6期
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