面向微装配的真空吸附控制系统研究

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微装配是实现MEMS器件封装的关键技术。以微小零件的装配为研究对象,结合实验室现有的精密位移台和CCD工业相机,以USB2831数据采集卡为基础搭建了硬件系统,以VC++6.0为系统软件开发平台,采用基于动态链接库的方法编写了真空吸附控制系统软件。通过对5个不同形状微小零件的装配,装配精度达到4.9μm。验证了控制系’统搭建的可行性,控制系统软件操作简单可靠,具有较强的实用性。
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