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讲述了隧道硅尖的大致结构，给出了制作隧道硅尖的两种不同的方法，分析了分别用湿法和干法刻蚀的硅尖及它们产生不同的效果。
隧道微硅尖的制作技术
【摘 要】
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讲述了隧道硅尖的大致结构，给出了制作隧道硅尖的两种不同的方法，分析了分别用湿法和干法刻蚀的硅尖及它们产生不同的效果。
【机 构】
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电子部第十三所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1999年3期
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