露点型温湿度传感器静态测试与性能分析

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该文对研制成功的显微成像式露点型温湿度传感器(以下简称传感器)进行测量误差测试和响应时间测试。在20℃和-20℃条件下,开展6个湿度测试点2个循环的测量误差测试,测试结果表明:20℃条件下,传感器测量性能良好,与湿度发生器相对湿度差在3%以内;-20℃条件下,传感器与湿度发生器相对湿度测量值相差较大,且存在一个线性减小的系统误差,反映出传感器低温下测量性能变差。环境温度为20℃,在低湿和高湿条件下,分别进行升湿和降湿响应时间测试。测试结果表明:传感器低湿响应时间平均值为91.5 s,高湿响应时间平均
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