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作用反光基底的三层减反射膜。紧贴基底的膜层有效光学厚度视基底的折射率不同,可以为λ/4或λ/2;中间层膜由混合的金属氧化物组成,有效光学厚度为λ/2;第三层膜的有效光学厚度为λ/4。镀中间层膜的方法是,把氧气流对着射向膜料的电子束。
减反射膜
【摘 要】
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作用反光基底的三层减反射膜。紧贴基底的膜层有效光学厚度视基底的折射率不同,可以为λ/4或λ/2;中间层膜由混合的金属氧化物组成,有效光学厚度为λ/2;第三层膜的有效光学厚
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1988年04期
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