【摘 要】
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本文以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,采用新型离子束源和磁控溅射源的混合技术在缝纫机针杆上成功制备了具有不同过渡层的类金刚石薄膜,并表征了薄膜的表面形貌,测量了其硬度、
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本文以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,采用新型离子束源和磁控溅射源的混合技术在缝纫机针杆上成功制备了具有不同过渡层的类金刚石薄膜,并表征了薄膜的表面形貌,测量了其硬度、结合力、摩擦系数,划痕法的结果表明,增加过渡层后薄膜的结合状况得到明显改善,DLC膜的硬度也得到了提高,摩擦磨损实验结果可以看出样品的摩擦系数均在0.1以下,可以极大地改善不锈钢针杆的摩擦性能。
In this paper, C2H2 as a carbon source, Ar gas as an auxiliary gas, a new type of ion beam source and the magnetron sputtering source hybrid technology in the needle bar needle on the successful preparation of different transition layer of diamond-like carbon and characterized the surface of the film The results of hardness, cohesion, coefficient of friction and scratch show that the bonding condition of the film is obviously improved after the transition layer is added, and the hardness of the DLC film is also improved. The friction and wear test results show that the sample Of the friction coefficient are below 0.1, can greatly improve the stainless steel needle bar friction performance.
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