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开发了一个朗缪尔探针等离子体诊断系统，对PECVD真空镀膜机进行了等离子体参数诊断。该镀膜机内的等离子体是电容偶合激发方式的氩等离子体，激发源为射频电源（13．56MHz）。在射频功率为40W到140W的范围内，使用该朗缪尔探针对镀膜机中氩等离子体的参数（等离子体密度和电子温度）进行了诊断分析。结果表明：电子温度在2．7eV和6．4eV之间，并且随着射频功率的增加而降低。而等离子体的密度在0．85×10^15m^-3到8×10^16m^-3的范围随着射频电源的增加而增加。