【摘 要】
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太赫兹（Thz）探测器工作在室温条件下极大地促进了太赫兹科学与技术的应用。超薄（10μm）钽酸锂（LiTaO3）晶片被用作太赫兹探测器敏感元材料。基于钽酸锂晶片太赫兹探测器在2.52 THz激
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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Supported by National Science Funds for Creative Research Groups of China （61421002）, the National Natural Science Foundation of China （NSFC） （61405027）, the China Postdoctoral Science Foundation （201
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太赫兹（Thz）探测器工作在室温条件下极大地促进了太赫兹科学与技术的应用。超薄（10μm）钽酸锂（LiTaO3）晶片被用作太赫兹探测器敏感元材料。基于钽酸锂晶片太赫兹探测器在2.52 THz激光辐射源照射下,20Hz斩波频率时响应率可达到8.38×10^4V/W,等效噪声功率NEP）可达到1.26×10^（-10）W。这种加工超薄钽酸锂晶片的方法为制备高响应率太赫兹探测器提供了一个可行的方法。
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