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采用原位椭圆偏振法测量Mn在Au电极上阴极恒电流沉积过程,分别建立单层膜模型和有效介质膜模型对椭圆偏振测量参数进行拟合.解析结果发现,均方差值（MSE）不是唯一判断的依据,结合扫描电镜结果得到单层膜模型更适合模拟Mn恒电流沉积的动态过程,由单层膜模型可推测Mn的沉积过程为逐层沉积.由于Mn的消光影响,椭圆偏振技术只适合沉积初始阶段的原位测量.